Surface CU SRP-4 sonde pour CMI563 CMI700

Application SRP-4 de sonde Cooper de surface:

La sonde SRP-4 est utilisée sur l'instrument Hitachi (Oxford) CMI700 et CMI563 pour tester l'épaisseur de cooper de surface.

Principe de test de cuivre de surface (sonde SRP-4)

La sonde de surface Cu SRP-4 mesurée par le principe de microrésistance, la sonde SRP a quatre sondes, les deux sondes à l'extérieur sont une source de courant constante et les deux sondes à l'intérieur sont un voltmètre. Lors de la mesure, quatre sondes doivent contacter simultanément la surface du cuivre pour former une boucle. Selon la formule R = U / I, la résistance R peut être obtenue, puis l'épaisseur du cuivre peut être calculée en fonction de R = P × L / S. On peut voir que l'épaisseur du cuivre à cette époque a une excellente relation avec la taille de la zone transversale.

Paramètre de sonde Hitachi SRP-4:

Cooper chimique : 10 μin - 500 μin (0,25 μm - 12,7 μm)

Cooper électroplastique : 0,1 mil - 6 mil (2,5 μm - 152 μm)

Lind avec plage : 8 mil - 250 mil (203 μm - 6350 μm)

Précision : ± 1% (± 0,1 μm) selon la plaque standard

Cooper Cooper SRP-4 Caractéristiques de sondage:

La sonde SRP-4 applique une technologie de test de micro-résistance avancée. La sonde attachée se compose de quatre sondes, AB étant positif et CD étant négatif; Lors de la mesure, le courant aura une petite résistance de l'électrode positive à l'électrode négative, et l'épaisseur de cuivre de surface est obtenue avec précision et de manière fiable par la relation fonctionnelle entre la valeur de résistance et la valeur d'épaisseur, qui n'est pas affectée par la carte d'isolation couche et la couche de cuivre à l'arrière de la carte de circuit imprimé. Les conseils de sonde SRP-4 usés sont remplaçables et est un produit breveté d'Oxford Instruments. La fonction d'éclairage de la sonde et la couverture de protection facilitent le positionnement précis pendant la mesure.